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皮米精度位移激光干涉儀

簡(jiǎn)要描述:昊量光電推出的皮米精度位移干涉測(cè)量?jī)xquDIS是對(duì)納米級(jí)別的位移波動(dòng)進(jìn)行量測(cè)的理想儀器,基于其*的測(cè)量原理,相對(duì)距離的重復(fù)精度達(dá)到了50皮米。quDIS可同時(shí)支持三個(gè)測(cè)量通道,使其可以適用于任意的多軸測(cè)量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,不過(guò)與傳統(tǒng)激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準(zhǔn)參考,通過(guò)皮米精度位移激光干涉儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):quDIS
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-07-12
  • 訪  問(wèn)  量:2297
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池

皮米精度位移激光干涉儀

 昊量光電推出的皮米精度位移干涉測(cè)量?jī)xquDIS是對(duì)納米級(jí)別的位移波動(dòng)進(jìn)行量測(cè)的理想儀器,基于其*的測(cè)量原理,相對(duì)距離的重復(fù)精度達(dá)到了50皮米。quDIS可同時(shí)支持三個(gè)測(cè)量通道,使其可以適用于任意的多軸測(cè)量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,不過(guò)與傳統(tǒng)激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準(zhǔn)參考,通過(guò)激光波長(zhǎng)調(diào)諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實(shí)現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的絕對(duì)距離測(cè)量基于這種測(cè)量方式,使得quDIS相對(duì)其他產(chǎn)品測(cè)量距離可以達(dá)到20M的同時(shí)保持高精度,且與信號(hào)對(duì)比度和強(qiáng)度無(wú)關(guān),由于使用整個(gè)干涉模式來(lái)提取位移信息,因此不存在非線性誤差。此外,quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實(shí)時(shí)信號(hào)中提取得到。

 

 

 

皮米精度位移激光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn):

  •  多維度多通道位移干涉器,操作簡(jiǎn)單,即插即用

  •  相對(duì)距離和絕對(duì)距離測(cè)量

  •  完善的全套系統(tǒng)配置

  •  實(shí)時(shí)輸出數(shù)字化圖像

  •  針對(duì)不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案

  •  長(zhǎng)期使用保證穩(wěn)定性

  •  兼容真空與各種惡劣環(huán)境

 

皮米精度位移激光干涉儀*優(yōu)勢(shì):

  •  絕對(duì)距離高精度測(cè)量!

  •  不存在非線性及周期性誤差!

  •  相對(duì)距離信號(hào)穩(wěn)定性<0.05nm!

  •  工作距離最大20m(與傳感頭相關(guān))

  •  目標(biāo)最大速度1m/s

  •  三個(gè)傳感接口,可實(shí)現(xiàn)多設(shè)備同步

  •  探測(cè)器分辨率達(dá)到1pm

 

皮米精度位移激光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域:

  •   極限環(huán)境下振動(dòng)分析

  •   緩慢漂移及熱膨脹檢測(cè)

  •   精密設(shè)備位置控制

  •   納米級(jí)位移測(cè)量

  •   層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測(cè)量

  •   位移和振動(dòng)精度評(píng)估

     

皮米精度位置測(cè)量?jī)x參數(shù)列表:

干涉儀傳感
光源DFB激光器分辨率1pm
功率<400uW相對(duì)距離穩(wěn)定性< 0.05nm
波長(zhǎng)1535nm絕對(duì)距離精度<0.2nm/mm
線寬<5MHz帶寬25kHz
傳感器通道3工作距離0.1—20m
光纖輸入端口FC Narrow-Key-Slot目標(biāo)速度<1m/s
Mating Sleeves傳感頭真空
同步多臺(tái)設(shè)備同步低溫


 

 

 

 

 

 

 

 

 

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