超緊湊線性平移臺(tái)（亞微米）

AU- M3-LS精密壓電線性微動(dòng)臺(tái)是集動(dòng)力系統(tǒng)、反饋系統(tǒng)和控制系統(tǒng)于一身的微機(jī)械系統(tǒng)。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個(gè)世界上zui小的壓電馬達(dá)和IC驅(qū)動(dòng)、非接觸式磁感應(yīng)陣列位置傳感器和PID控制器。

超緊湊線性平移臺(tái)（亞微米）

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①  AU-M3-LS采用SQL-RV-1.8微型壓降直線微電機(jī)系統(tǒng)。該動(dòng)力系統(tǒng)主要包括目前世界上zui小的壓電SQL-RV-1.8壓降直線微電機(jī)（2.8 x 2.8 x 6 mm）和業(yè)界內(nèi)zui小的壓電馬達(dá)NSD-2101驅(qū)動(dòng)IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模塊上可以提供之前難以想象的運(yùn)動(dòng)性能。該直線微電機(jī)馬達(dá)擁有較小的體積但可以提供更大的功率和穩(wěn)定性。分辨率為0.5mm，精度是電磁馬達(dá)的十倍。該馬達(dá)沒(méi)有齒輪和凸輪，直接提供直線移動(dòng)的動(dòng)力，并采用自鎖設(shè)計(jì)，只有移動(dòng)的時(shí)候才會(huì)耗電。因此比同等電磁馬達(dá)的功耗降低40%。NSD-2101驅(qū)動(dòng)是把輸入的直流電轉(zhuǎn)換為高頻交流電來(lái)控制馬達(dá)。并且可以通過(guò)I2C串行接口接受來(lái)自系統(tǒng)的指令。

②  AU-M3-LS超小型線性微動(dòng)臺(tái)為閉環(huán)的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。采用NSE-5310位置傳感器，分辨率可達(dá)到0.5mm。該傳感器芯片上集成數(shù)字編碼器的磁傳感器陣列，將磁性正弦波轉(zhuǎn)換為數(shù)字直接輸出。芯片上編碼使用標(biāo)準(zhǔn)I2C協(xié)議提供直接數(shù)字輸出，無(wú)需外部脈沖計(jì)數(shù)器。高效的控制系統(tǒng)通信在單個(gè)I2C總線上zui多允許兩個(gè)位置傳感器。另外該傳感器對(duì)外部環(huán)境不敏感，可適用于光照、沖擊、振動(dòng)等條件。

③ AU-M3-LS超緊湊型線性微動(dòng)臺(tái)不需要外部控制器。該模塊將PID控制器集成到電路板上，只需要通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的I2C 或者SPI接口輸入簡(jiǎn)單的串行命令就可以驅(qū)動(dòng)該控制器?？梢酝ㄟ^(guò)USB連接電腦，直接通過(guò)軟件控制該微動(dòng)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)。操作簡(jiǎn)單使用方便。

此外該微動(dòng)臺(tái)多個(gè)可組合成多軸運(yùn)動(dòng)的微動(dòng)臺(tái)。兩個(gè)可以組合成X-Y軸運(yùn)動(dòng)的平臺(tái)，三個(gè)可組合成X-Y-Z的多軸微動(dòng)臺(tái)。

u  產(chǎn)品主要特點(diǎn)

• 超小體積 （29 x 20 x 10 mm）
• 無(wú)需外加控制器
• 大行程（6mm）
• 高分辨率（0.5mm）
• 堅(jiān)固性優(yōu)
• 高重復(fù)性
• 低功耗 （工作時(shí)<o.7W）
• 可組成多軸微動(dòng)臺(tái)
• 可直接從USB適配運(yùn)行

u  主要應(yīng)用

手持和便攜設(shè)備、便攜式醫(yī)療設(shè)備、微型顯微鏡、光譜學(xué)、微器件裝配、生物醫(yī)學(xué)探測(cè)和抽樣、高分辨率調(diào)諧系統(tǒng)、無(wú)人機(jī)/地面車輛控制和光學(xué)、微型相機(jī)系統(tǒng)等。

u  主要參數(shù)